集成电路系统级封装
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4.1 陶瓷基板

系统级封装陶瓷基板按制作工艺可分为厚膜/薄膜陶瓷基板和低温共烧/高温共烧陶瓷基板。厚膜/薄膜陶瓷基板通过厚膜工艺、薄膜工艺在陶瓷基板上制作导线,以及电阻、电感、电容等元器件,属于多芯片溅射(Multi-Chip Module–Deposit,MCM-D)基板。低温共烧/高温共烧陶瓷基板在完成生瓷膜片制作、导体印刷后烧结成陶瓷,并经电镀等处理后封装成陶瓷基板,属于多芯片陶瓷(Multi-Chip Module-Ceramic,MCM-C)基板。系统级封装陶瓷基板材料通常具有低介电常数、低介电损耗、高导热系数、适宜的热膨胀系数、良好的化学性能等特点。